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半導體EDI超純水設備
基本信息
半導體EDI超純水設備
隨著半導體、電子行業(yè)的技術發(fā)展，對水處理設備的需求也越來越廣泛，國內外超純水設備的技術也獲得了飛速的發(fā)展和廣泛的應用，涌現(xiàn)出一大批超純水處理方面領域的公司企業(yè)，。目前國內的超純水制備行業(yè)正處于快速的發(fā)展階段，但是相比國外的發(fā)展水平仍有很大的差距。隨著國內半導體生產線的普及，超純水制備設備的需求越來越大，目前國內的現(xiàn)代超純水水質以電阻率、TOC（總有機碳）、細菌、微粒、DO（溶解氧）、可溶硅、離子和金屬雜質等參數(shù)來表征，它們對器件影響大。因此，這就需要設計一臺能夠制備滿足指標要求的浸沒液超純水處理系統(tǒng)，以保證光刻機的正常運行。超純水處理系統(tǒng)是制備超純水的自動控制系統(tǒng)，在光刻機中它作為浸沒控制系統(tǒng)中的子模塊，主要負責對超純水的制備，對超純水污染物質進行處理，并達到浸沒供給液各項指標要求。
超純水設備
EDI超純水設備工作原理：
EDI工作原理如圖所示。EDI膜塊中將一定數(shù)量的EDI單元用格板隔開，形成濃水室和淡水室。又在單元兩端設置陰/陽電極。在直流電的推動下，通過淡水室水流中的陰陽離子分別透過陰陽離子交換膜遷移到濃水室而在淡水室中去除。如下圖：
電場使進水中的水分子在離子交換樹脂界面離解成H 及OH-，并不斷地淡水室中陰、陽離子交換樹脂。離子交換樹脂中的陰、陽離子在過程中受到相應正負電極的吸引，透過陽、陰離子交換樹脂向所對應的離子膜的方向遷移。當這些離子透過交換膜進入濃室后，H 及OH-重新結合成水。這種H 及OH-的產生、湮滅及陰、陽離子遷移正是離子交換樹脂得以實現(xiàn)連續(xù)的機理。
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濱潤環(huán)�？萍加邢薰咀詣�(chuàng)建以來，主要從事制藥，生物，保健品，化妝品，工業(yè)，化工，醫(yī)院等純水，純化水，超純水，注射用水、中水回用、污水處理的成套設備，能提供從原水開始到合格純水，純化水，超純水，注射用水（包括用水點）污水達標排放的全套工藝設計、設備制造、安裝、調試及DQ、IQ、OQ文件資料等“交鑰匙”工程。公用工程（純蒸汽、潔凈壓縮空氣、氮氣）和工藝生產設備（CIP、SIP、自動化系統(tǒng)）的設計、施工和驗證服務于一體的專業(yè)工程設備公司�！皩I(yè)精湛、優(yōu)質服務”是公司永恒的宗旨，堅持“科技領先，優(yōu)質高效，客戶至上，尊信守約”的理念以及質量方針，為我們的客戶提供‘零缺陷’的產品和周到的服務是濱潤環(huán)保每位員工始終不渝的奮斗目標。我們所有的產品都有嚴格的質量控制流程，在整機執(zhí)行元件的選配上也都采用國際知名品牌，如：美國GF、美國GE、杭州南方、丹麥格蘭富、意大利FOUCS、西門子IONPURE、美國DOW、韓國LG等，確保整機長期無故障運行。公司以其可靠的質量、完善的服務、精湛的技術，為國內外合作伙伴提供優(yōu)質的產品以及貼心的服務。我們真誠希望以滿腔的熱情，周到的服務與各界朋友共謀發(fā)展、再續(xù)輝煌。
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