1µm柵極氧化固態(tài)劑量計(jì)

技術(shù)要求

典型數(shù)值在27°C

氧化層厚度10000A

輻射Vth靈敏度

輻射場(chǎng)= 0.05 MV/cm : 靈敏度= 2.4mV/rad 輻射場(chǎng)= 0 MV/cm : 靈敏度= 0.8mV/rad (靈敏度在 1.5 krad(H2O)，在以下讀寫器的配置中使用一個(gè)恒量10µA)

溫度補(bǔ)償

TVTC 15mV/°C(該數(shù)據(jù)出自溫度27°C-100°C線性模式中的外推Vtp數(shù)值.)

線性模式中Z.T.C. 數(shù)值~ -5µA(Vs=Vb=0, Vds=-0.1)

飽和模式中Z.T.C.數(shù)值~ -30µA(使用以下讀寫器電路配置)

預(yù)輻射劑量計(jì)的特點(diǎn)

閾值電壓（外推） -17.2 /- 0.4V

Vth漂移時(shí)間（秒） 4mV(該數(shù)據(jù)出自讀寫器配置強(qiáng)迫40µA，兩個(gè)中有一個(gè)因子會(huì)zeng大)

氧化層擊穿電壓>400V

溝道漏電流Vd=-12, Vg=Vs=Vbulk=0 ~ 20 pA

亞閾值斜率-500 mV/decade

溝道電阻Vgs-Vth=5V, Vds=-0.1 ~ 1.95 Mohms

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