遠紫外光學(xué)石英玻璃是由含硅的液態(tài)化合物在氫氧焰中水解沉積而成的。由于使用的是液態(tài)原料，容易提純，可熔制出純度較高的透明石英玻璃坨，經(jīng)過熱處理和準(zhǔn)確機械加工后就可以制成各種性能的光學(xué)材料。這些材料是激光技術(shù)、航天航空、光通信和半導(dǎo)體集成電路制造所必須的。
　　
　　遠紫外光學(xué)石英玻璃是用四氯化硅合成的石英玻璃，其特性是沒有氣泡，較高的純度，在所有材料中透紫外光譜較佳。其應(yīng)用波長為175-2500nm。由于制造過程中“含水”，結(jié)構(gòu)網(wǎng)絡(luò)中（OH）振動致使這種玻璃在2730nm處具有很強的吸收峰，無顆粒結(jié)構(gòu)。
　　
　　遠紫外光學(xué)石英玻璃物理、化學(xué)性能
　　
　　1、耐高溫
　　
　　軟化點溫度約1730℃，可在1100℃下長時間使用，短時間較高使用溫度可達1450℃
　　
　　2、耐腐蝕
　　
　　除氫氟酸外，幾乎不與其他酸類物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，其耐酸能力是陶瓷的30倍，不銹鋼的150倍，尤其是在高溫下的化學(xué)穩(wěn)定性，是其他任何工程材料都無法比擬的
　　
　　3、熱穩(wěn)定性好
　　
　　熱膨脹系數(shù)較小，能承受劇烈的溫度變化，將其加熱至1100℃左右，放入常溫水中也不會炸裂
　　
　　4、透光性能好
　　
　　石英玻璃片在紫外線到紅外線的整個光譜波段都有交好的透光性能，可見光透過率在93%以上，特別是在紫外線光譜區(qū)，非常大透過率可達80以上
　　
　　5、電絕緣性能好
　　
　　電阻值相當(dāng)于普通玻璃的一萬倍，是較好的電絕緣材料，即使在常溫下也具有良好的電性能